(1) Umgebungsanforderungen für die Vakuumbeschichtung
Die Reinigung der Substratoberfläche ist bei Vakuumbeschichtungsprozessen von entscheidender Bedeutung. Bevor das Substrat in die Beschichtungskammer gelangt, sollte es einer gründlichen Vorreinigung unterzogen werden, um Öl, Schmutz und Wasser zu entfernen.
Oberflächenverunreinigungen entstehen durch verschiedene Stäube, Schmieröle, Maschinenöle, Polierpasten, Fette, Schweiß usw., die während der Verarbeitung, des Transports und der Verpackung an den Teilen haften; In feuchter Luft bilden sich auf der Oberfläche der Teile Oxidfilme. und von der Teileoberfläche absorbierte und adsorbierte Gase. Diese Verunreinigungen können im Allgemeinen durch Entfetten oder chemische Reinigungsverfahren entfernt werden.
Gereinigte Oberflächen sollten nicht in der Atmosphäre, sondern in verschlossenen Behältern oder Reinraumschränken gelagert werden, um eine Staubkontamination zu minimieren. Durch die Lagerung von Glassubstraten in frisch oxidierten Aluminiumbehältern wird die Adsorption von Kohlenwasserstoffdämpfen minimiert, da diese Behälter bevorzugt Kohlenwasserstoffe adsorbieren. Besonders instabile, wasserdampfempfindliche Oberflächen sollten grundsätzlich in einem Vakuumtrockenschrank gelagert werden. Die Aufrechterhaltung eines hohen Sauberkeitsgrades und die Entfernung von Staub aus der Beschichtungskammer sind grundlegende Umweltanforderungen für den Beschichtungsprozess.
In Bereichen mit hoher Luftfeuchtigkeit sind neben der gründlichen Reinigung des Substrats und aller Komponenten innerhalb der Vakuumkammer vor der Beschichtung auch ein Einbrennen und Entgasen erforderlich. Um zu verhindern, dass Öl in die Vakuumkammer gelangt, muss auf einen Ölrückfluss aus der Öldiffusionspumpe geachtet werden; Bei Diffusionspumpen mit hoher Heizleistung müssen Öl-blockierende Maßnahmen umgesetzt werden.
(2) Grundprinzipien der Beschichtung und Filmbeschichtung
A. Rohstoffe und Grundprinzipien: Zu den Rohstoffen zählen Harze, Polymere, Teflon, Silikon, Acrylsäure und Silikate, die Hilfsstoffe, Formulierungen und Mengen variieren jedoch. Beispielsweise beeinflusst die Menge des zugesetzten Emulgators den Zustand der Emulsion, was zu wässrigen, milchigen oder pastösen Formen führt. Nach der Emulgierung und Demulgierung dringen diese Stoffe teilweise ein oder bilden einen dünnen Film.
B. Merkmale und Unterschiede:
Beschichtung: Gute Penetration (abhängig von der Partikelgröße der Rohstoffe), hervorragende Oberflächenglätte, geeignet für europäische und amerikanische Autolackoberflächen mit vielen „Kapillaren“, Rauheit, Neulackierung oder eine harte Oberfläche, die einen erhöhten Glanz erfordert.
Filmbeschichtung: Filmbildenden Produkten werden Film{0}hilfsmittel und Härter zugesetzt, die eine sofortige Filmbildung ermöglichen und so die Eigenschaften der Beschichtung verändern.
Die erforderliche Beschichtungsumgebung und BeschichtungsschichtVakuumbeschichtungsmaschinesind sehr wichtige Faktoren. Wenn das Vakuumniveau nicht hoch genug ist, werden die Beschichtungsbedingungen nicht erfüllt und die Ausbeute wird weit vom Idealwert entfernt sein.
