Viele Kunden sind beim Kauf verwirrtVakuumbeschichtungsmaschinen. Sie wissen, welchen Typ und welches Modell der Beschichtungsmaschine sie benötigen, können jedoch nicht bestimmen, welche Standards die Maschine erfüllen muss, um als hochwertig und hochwertig zu gelten. Diese Verwirrung führt dazu, dass sie viele Umwege nehmen. Im Folgenden gibt Puyuan Vacuum eine detaillierte Einführung in die grundlegenden technischen Anforderungen, die eine Vakuumbeschichtungsmaschine erfüllen muss.
Vakuumverdampfung, Kathodenionisation, Magnetronsputtern:
1.Die Struktur von Vakuumleitungen und statischen Dichtungskomponenten in der Ausrüstung sollte GB/T6070 entsprechen.
2.Vakuummessgeräte sollten an den Nieder-{0}}- und Hoch---Vakuumleitungen sowie an der Vakuumbeschichtungskammer installiert werden, um das Vakuumniveau an jedem Ort zu messen. Wenn Störungen durch das elektrische Feld festgestellt werden, sollte am Messanschluss eine Abschirmvorrichtung für elektrische Felder installiert werden.
3.Wenn die in der PVD-Beschichtungsanlage verwendete Hauptpumpe eine Diffusionspumpe ist, sollte auf der Pumpeneinlassseite eine Öldampffalle installiert werden.
4. Die Beschichtungskammer der Vakuumbeschichtungsanlage sollte mit einem Beobachtungsfenster und einer Prallvorrichtung ausgestattet sein. Das Beobachtungsfenster sollte eine Beobachtung des Betriebsstatus der Ablagerungsquelle und anderer kritischer Komponenten ermöglichen.
5. Das Design der Ionenplattierungs-Abscheidungsquelle sollte die Ionisierungsrate während des Beschichtungsprozesses maximieren, die Ausnutzungsrate des Beschichtungsmaterials verbessern, die Leistung der Abscheidungsquelle rational anpassen und die Position der Abscheidungsquelle innerhalb der Vakuumkammer rational anordnen.
6.Das Heizgerät sollte rational angeordnet sein; Im Allgemeinen sollte die Anordnung der Heizstruktur einen gleichmäßigen Temperaturanstieg des zu plattierenden Werkstücks gewährleisten.
7. Der Werkstückhalter sollte von der Vakuumkammer isoliert sein und das Design des Werkstückhalters sollte sicherstellen, dass die Werkstückfilmschicht gleichmäßig ist.
8. Ionenvakuumbeschichtungsmaschinen sollten im Allgemeinen über eine negative Vorspannung für das Werkstück und eine Stromversorgung für den Ionenbeschuss verfügen. Das Ionenbeschuss-Netzteil sollte über eine Vorrichtung zur Unterdrückung abnormaler Entladungen und zur Aufrechterhaltung eines stabilen Betriebs verfügen.
9.Die Isolationswiderstandswerte zwischen verschiedenen Teilen der Vakuumkammer, die an unterschiedliche Potenziale angeschlossen sind, müssen 4.4.6 von GB/T11164-1999 entsprechen.
10. Weitere Vorsichtsmaßnahmen
(1) Umgebungstemperatur: 10–30 Grad
(2) Relative Luftfeuchtigkeit: nicht mehr als 75 %
(3) Kühlwassereinlasstemperatur: nicht höher als 25 Grad
(4) Kühlwasserqualität: kommunales Leitungswasser oder Wasser gleichwertiger Qualität.
(5) Stromversorgung: 380 V drei-Phase 50 Hz oder 220 V einphasig 50 Hz (abhängig von den verwendeten Elektrogeräten); Spannungsschwankungsbereich: 342–399 V oder 198–231 V; Frequenzschwankungsbereich: 49-51Hz.
(6) Der für das Gerät erforderliche Druck, die Temperatur und der Verbrauch an Druckluft, flüssigem Stickstoff, kaltem Wasser, heißem Wasser usw. sollten in der Bedienungsanleitung des Produkts angegeben werden.
(7) Die Umgebung des Geräts sollte sauber sein und die Luft sollte frei von Staub oder Gasen sein, die zur Korrosion elektrischer Komponenten oder anderer Metallteile oder zur Leitung zwischen Metallen führen könnten.
