1. Grundstruktur der Vakuumbeschichtungsmaschine
Die Vakuumbeschichtungsmaschine ist ein Gerät, das Dünnfilm auf der Oberfläche des Substrats durch physikalische oder chemische Methoden unter Vakuumumgebung ablegt. Die Kernstruktur umfasst die folgenden Teile:
1. Vakuumsystem: Es besteht aus mechanischer Pumpe, Molekularpumpe, Diffusionspumpe usw., mit der die Beschichtungskammer in eine hohe Vakuumumgebung von 10⁻³ ~ 10⁻⁶ PA gepumpt wird (siehe "Handbuch für Vakuumbeschichtungstechnologie"). Beispielsweise kann die mechanische Pumpe den Druck auf 1 ~ 10 pa reduzieren, und die molekulare Pumpe kann ihn weiter auf unter 10 ° C reduzieren.
2. Beschichtskammer: Der Hauptkörper ist ein Edelstahlhöhle, der korrosionsbeständig ist und eine starke Versiegelung aufweist. Die Größe reicht von 0,5 m³ für kleine Labors bis 5 m³ für industrielle Grad (wie das ARL-300-Modell von ULVAC).
3.. Verdunstungsquelle: Wählen Sie Widerstandserwärmung, Elektronenstrahl oder Magnetron -Sputterquelle gemäß den Prozessanforderungen. Beispielsweise kann die Leistung der Elektronenstrahlverdampfungsquelle 10 kW erreichen und die Verdunstungsrate beträgt ca. 1 ~ 5 nm/s.
2. Unterschiede in der Zusammensetzung verschiedener Arten von Beschichtungsmaschinen
1. Ausrüstung der physischen Dampfabscheidung (PVD):
- Magnetron -Sputter -Beschichtungsmaschinen müssen mit Zielmaterialien (wie Titanzielen, Aluminiumzielen) und Magnetfeldsystemen ausgestattet werden, und der Arbeitsgasdruck beträgt normalerweise 0,1 ~ 10 pa.
- Bogen -Ionenbeschichtungsmaschinen fügen Arc -Quellen hinzu, der Strom kann 100 ~ 200 a erreichen und die Filmadhäsion ist stärker.
2. CVD -Geräte (Chemische Dampfabscheidung):
- Reaktive Gase (wie Sih₄, Ch₄) müssen eingeführt werden, und ein Gasflusskontrollsystem ist mit einer Genauigkeit von ± 1 SCCM (Standard Milliliter/Minute) ausgestattet.
3. Hilfssysteme und wichtige technische Parameter
1. Kontrollsystem: SPS oder Industriecomputer wird zur Überwachung von Vakuum, Temperatur (± 1 Grad -Genauigkeit) und Filmdicke (gemessen mit Quarzkristall -Oszillationsmethode, Genauigkeit ± 0,1 nm) in Echtzeit verwendet.
2. Kühlsystem: Die Konstruktionsströmungsrate der Wasserkühlpipeline beträgt normalerweise 20 ~ 50 l/min, um die langfristige Betriebsstabilität der Geräte zu gewährleisten.
Iv. Anwendungsszenarien und Auswahlempfehlungen
1. Optische Beschichtung: Erfordert eine hohe Gleichmäßigkeit (± 1% dicke Abweichung) und muss eine multi-kriegerische Elektronenstrahlverdampfungsquelle auswählen.
2. Werkzeugbeschichtung: Konzentriert sich auf die Härte (z. B. die Zinnbeschichtung kann 2000 HV erreichen), und es wird die Lichtbogen -Plattierungsausrüstung bevorzugt.
In der obigen Analyse können Benutzer den Typ und Konfiguration des passenden Beschichtungsmaschinens entsprechend den tatsächlichen Anforderungen (z. B. Filmleistung, Produktionseffizienz) auswählen.
