Die Ionenquelle der Multi-ARC-Beschichtungsmaschine basiert auf der Kaltkathoden-Vakuumbogenentladung. Das Kathodenzielmaterial verfügt über Flecken. Die Flecken geben Metalldampf aus und ionisieren in Ionen. Die Ionen werden auf der Oberfläche des Werkstücks abgelagert, um eine Beschichtung zu bilden. Das Arbeitsprinzip der Ionenquelle der Multi-ARC-Beschichtungsmaschine besteht darin, in einer Vakuumumgebung durch das Kathodenzielmaterial ein Lichtbogenentladung zu erzeugen, um ein Plasma mit hoher Dichte zu bilden. Wenn der Strom durch das Zielmaterial fließt, bilden sich winzige Flecken auf der Oberfläche und bewegen sich mit hoher Geschwindigkeit. Diese Flecken verdampfen und ionisieren das Zielmaterial, um Metallionen zu erzeugen. Diese Ionen werden beschleunigt, um unter der Wirkung des elektrischen Feldes in Richtung des Werkstücks zu fliegen und schließlich auf der Oberfläche abgelagert zu werden, um eine gleichmäßige und dichte Beschichtung zu bilden.
