Die Diffusionspumpe ist die Hauptkomponente der Vakuumbeschichtungsmaschine. Damit die Maschine in gutem Zustand arbeitet, ist es sehr wichtig, die Diffusionspumpe der Vakuumbeschichtungsmaschine aufrechtzuerhalten und aufrechtzuerhalten.
1. Das Kühlwasser muss während des Betriebs der Diffusionspumpe ungehindert gehalten werden. Nachdem das Erhitzen gestoppt wurde, kann das Kühlwasser erst ausgeschaltet werden, nachdem die Pumpe -Arbeitsflüssigkeit vollständig abgekühlt wurde.
2. Wenn die Diffusionspumpe nicht mehr funktioniert, sollte die Pumpe in einem Vakuumzustand gehalten werden, um zu verhindern, dass sich das Pumpenöl verschlechtert.
3. Das Pumpgas sollte trocken, nicht korrosiv und staubfrei sein.
4. Wenn die Diffusionspumpe nicht vorübergehend verwendet wird, sollte sie während der Lagerung in einem Vakuumzustand aufbewahrt werden, um Pumpenölverschmutzung und Korrosion verschiedener Teile zu verhindern und das restliche Wasser in den Kühlwassermantel wegzublasen. Die Raumtemperatur des Standorts sollte zwischen 10 und 40 Grad Celsius gehalten werden.
5. Die Leistung der Diffusionspumpe verschlechtert sich nach dem langfristigen Betrieb allmählich und sollte regelmäßig überprüft werden. Zum Beispiel: Unabhängig davon, ob das Pumpenöl reduziert oder oxidiert wird, fügen Sie Öl hinzu oder ersetzen Sie es gemäß den entsprechenden Anforderungen; Die Teile und die Pumpenkammer werden zuerst mit Luftfahrt-Benzin gereinigt, dann mit Aceton geschrubbt und mit einem Haartrockner bei 80 bis 100 Grad Celsius zum Trocknen oder trocken gestellt. Halten Sie nach der Verarbeitung den Pumpenkern und den pumpen unteren vertikalen und konzentrisch mit der Pumpenkammer zusammen und stellen Sie die Lücken zwischen den Düsen auf jeder Ebene gemäß den ursprünglichen Anforderungen ein.
6. Nachdem das Wasser verdampft, den Pumpenkern einbauen, neues Diffusionspumpenöl hinzufügen und den Körper neu installieren, das Wasserrohr anschließen, die elektrische Herdplatte einbauen und dann die Maschine neu starten können.
7. Achten Sie vor dem Neustart auf die Leckerkennung. Die Methode lautet: Starten Sie die Wartungspumpe, schließen Sie die Vakuumkammertür und beobachten Sie nach einigen Minuten, ob der Vakuumgrad 6*100 Pa beträgt. Andernfalls ist die Leckerkennung erforderlich, um zu überprüfen, ob der Versiegelungsring am Anschluss fehlt oder der Versiegelungsring zerkleinert ist. Erhitzen kann erst nach der Beseitigung der versteckten Gefahr von Leckagen durchgeführt werden. Andernfalls brennt das Öl der Diffusionspumpe aus und kann nicht in den Arbeitszustand eintreten.
