Betrieb des elektrischen Schaltschranks
1. Schalten Sie die Wasserpumpe und die Gasquelle ein.
2. Schalten Sie die Hauptstromversorgung ein.
3. Schalten Sie die Stromversorgung der Wartungspumpe und der Vakuumanzeige sowie der Position der Vakuummesser V1 ein. Warten Sie, bis der Wert weniger als 10 liegt, bevor Sie den nächsten Schritt eingeben. Es dauert ungefähr 5 Minuten.
4. Schalten Sie die mechanische Pumpe vor, die Turbomolekulare Pumpenleistung einschalten und starten Sie sie. Schalten Sie den Vakuummessstechschalter auf V2 -Position und pumpen Sie, bis er weniger als 2 ist. Es dauert ungefähr 20 Minuten.
5. Nachdem beobachtet wurde, dass der Turbomolekularpumpenwert 250 erreicht, schalten Sie die Vorpumpe aus und schalten Sie die vordere Pumpe und ein hohes Vakuumventil ein, um weiter zu saugen. Nachdem das Vakuum ein bestimmtes Niveau erreicht hat, kann das hohe Vakuummessgerät rechts eingeschaltet werden, um den Vakuumgrad zu beobachten. Die Stromversorgung von Elektronenpistolen kann erst nach dem Erreichen des Vakuums 2 × 10-3 eingeschaltet werden.
Def-6b
1. Hauptstromversorgung.
2. Schalten Sie die Stromversorgung der Elektronenpistolensteuerung und die Elektronenpistolensteuerung gleichzeitig ein: Drücken Sie den Strom- und Verzögerungsschalter der Elektronenpistolensteuerung. Wenn die hintere Tür nicht geschlossen ist oder das Wasserflussrelais fehlerhaft ist, wird das Schutzlicht immer eingeschaltet.
3. Einschalten der Hochspannung, die Hochspannung erreicht mehr als 10 kV, einstellen den Strahlstrom auf etwa 200 mA, das Vorhangnetz beträgt 20 V/100 mA, der Filamentstrom beträgt 1,2a und der Ablenkstrom schwingt zwischen 1 und 1,7.
Herunterfahrensequenz
1. Schalten Sie die hohe Vakuumanzeige und die molekulare Pumpe aus.
2. Wenn die molekulare Pumpe 50 aufweist, schalten Sie das Hochventil, die Frontstufe und die mechanische Pumpe nacheinander aus. Diese Zeit dauert ungefähr 40 Minuten.
3. Wenn es unter 50 liegt, schalten Sie die Wartungspumpe aus.
